突發(fā)！全球光刻機龍頭ASML TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻機發(fā)貨許可證

合明科技發(fā)布時間：2024-01-03 ?? 2905 Tags：光刻機ASML 出口許可證 NXT:2050i

2024年1月1日，全球光刻機龍頭ASML官網(wǎng)發(fā)布聲明稱，荷蘭政府最近吊銷了該公司2023年發(fā)貨TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻機的部分許可證，這會對其少數(shù)中國客戶產(chǎn)生影響。

撤銷許可證的一個大背景，就是2023年美國發(fā)布了出口管制新規(guī)，進一步收緊了對中國的設(shè)備出口，而ASML作為芯片核心設(shè)備制造商，也受到影響。不過，當(dāng)時ASML高管曾談到，適用該新規(guī)的涉及先進芯片制造的中國晶圓廠數(shù)量有限。

ANNOUNCEMENT .VELDHOVEN，THE NETHERLANDS，JANUARY 12 0 2 4

A license for the shipment of NXT:2050i and NXT:2100ilithography systems in 2023 hasrecently been partially revoked by the Dutch government, impacting a small number ofcustomers in China

We do not expect the current revocation of our export license or the latest U.S. export controlrestrictions to have a material impact on our financial outlook for 2023

In recent discussions with the US government,ASML has obtained further clarification of thescope and impact of the US export control regulations. The latest US export rules (publishedOctober 17,2023)impose restrictions on certain mid critical DUV immersion lithographysystems for a limited number of advanced production facilities.

ASML is fully committed to comply with all applicable laws and regulations including exportcontrol legislation in the countries in which we operate.

TWINSCAN NXT:2050i

TWINSCAN NXT:2050i 是最先進的浸沒式光刻系統(tǒng)設(shè)計與先進鏡頭設(shè)計的結(jié)合，其數(shù)值孔徑 (NA)為 1.35，這是目前半導(dǎo)體行業(yè)中最高的。該步進掃描系統(tǒng)是一款高生產(chǎn)率的雙級工具，專為批量生產(chǎn)而設(shè)計。

通過將高生產(chǎn)率與前所未有的覆蓋性能相結(jié)合，該系統(tǒng)滿足了多種圖案化要求，為在先進邏輯和 DRAM 節(jié)點制造 300 毫米晶圓提供了經(jīng)濟高效的解決方案。

TWINSCAN NXT:2100i

TWINSCAN NXT:2100i 是TWINSCAN NXT:2050i的后繼產(chǎn)品。其新的硬件和軟件創(chuàng)新使單機覆蓋率提高了 10% (0.9 nm)，匹配機覆蓋率提高了 13% (1.3 nm)。

NXT:2100i 采用了新的鏡頭畸變操縱器，為芯片制造商提供了前所未有的校正能力。它使系統(tǒng)能夠改善 DUV-EUV 交叉匹配疊加。通過將 4 色測量增加到 12 色以及在晶圓測量側(cè)添加更多對準標記測量，可以提高對準精度。各種軟件算法也已更新，以提供改進的場間和場內(nèi)疊加控制。