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淺談濾波器晶圓級(jí)封裝中Bump制造的關(guān)鍵點(diǎn)與先進(jìn)封裝清洗

合明科技 ?? 2979 Tags:功率放大器晶圓級(jí)封裝先進(jìn)芯片封裝清洗

射頻前端(RFFE,Radio Frequency Front-End)模組國內(nèi)外手機(jī)終端中廣泛應(yīng)用。它將功率放大器(PA,Power Amplifier)、開關(guān)(Switch)、低噪聲放大器LNA(Low Noise Amplifier)、濾波器(Filter)、無源器件等集成為一個(gè)模組,從而提高性能,并減小封裝體積。體聲波濾波器適用于較高的頻段,可細(xì)分為BAW、FBAR、XBAR等。在晶圓級(jí)封裝工藝中,Bump制造是相當(dāng)重要的一道工序


當(dāng)前業(yè)內(nèi)常見的幾種SAW Filter Wafer Bumping工藝如下:

1通過打線工藝在晶圓的UBM(Under Bump Metal)上植金球。

2通過鋼網(wǎng)印刷工藝在UBM上印刷錫膏,再經(jīng)過回流焊成球。

3先在晶圓的UBM上印刷助焊劑,將錫球放到UBM上,再經(jīng)過回流焊完成植球。

本文重點(diǎn)介紹第二種工藝。通過對(duì)印刷錫膏方案的剖析發(fā)現(xiàn),在Bumping工藝中Bump的高度和共面度(同一顆芯片上Bump高度最大值最小值之差,差值越低越好)是最重要的關(guān)鍵指標(biāo)(如圖1.1、圖1.2)。下面從鋼網(wǎng)的工藝和設(shè)計(jì)、錫膏的特性等方面進(jìn)行分析。

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圖1.1 球高

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圖1.2 共面度

鋼網(wǎng)印刷

圖片鋼網(wǎng)印刷的目的是使錫膏材料通過特定的圖案孔沉積到正確的位置上。首先,將錫膏放到鋼網(wǎng)上,再用刮刀使其通過鋼網(wǎng)開孔沉積到焊盤上。鋼網(wǎng)與晶圓之間的距離(印刷間隙)、印刷角度、壓力、速度和膏體的流變特性是確保錫膏印刷的關(guān)鍵參數(shù)。一旦鋼網(wǎng)開孔被膏體填滿,脫模后膏體留在每個(gè)焊盤上,沉積在焊盤上的體積取決于鋼網(wǎng)的孔距和孔壁的質(zhì)量、焊盤的表面特性和膏體的流變性能。

鋼網(wǎng)的加工工藝與開孔設(shè)計(jì)

圖片納米涂層鋼網(wǎng)的工藝是:在激光切割的基礎(chǔ)上對(duì)鋼網(wǎng)進(jìn)行清洗,然后在鋼網(wǎng)內(nèi)壁進(jìn)行打磨拋光以降低粗糙度,最后涂覆納米涂層。納米涂層使接觸角顯著增加,從而降低鋼網(wǎng)材料的表面能,有利于錫膏脫模。

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圖2.1 無納米涂層

Source: Laser Job

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圖2.2 納米涂層


電鑄鋼網(wǎng)的制作方法是:先在導(dǎo)電基板上用光刻技術(shù)制備模板,然后在阻膠膜周圍進(jìn)行直流電鑄,最后從光刻膠孔上剝離。電鑄鋼網(wǎng)的質(zhì)量和印刷性能取決于光刻膠的靈敏度、所用光刻工具的類型、導(dǎo)電基材的光學(xué)性能和電鑄工藝。

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圖3 電鑄鋼網(wǎng)孔壁

Source: Bon Mark

小結(jié),納米涂層鋼網(wǎng)的印刷表現(xiàn)略遜于電鑄鋼網(wǎng),其涂層在批量生產(chǎn)一段時(shí)間后可能會(huì)脫落,但是納米涂層鋼網(wǎng)的價(jià)格遠(yuǎn)低于電鑄鋼網(wǎng)。

電鑄鋼網(wǎng)的側(cè)壁非常光滑,其印刷表現(xiàn)最好,是超細(xì)間距應(yīng)用的最佳選擇,但電鑄鋼網(wǎng)的價(jià)格相當(dāng)昂貴。

鋼網(wǎng)的選擇取決于客戶對(duì)產(chǎn)品特性和成本的綜合考量。

開孔面積比

由于CTE不匹配會(huì)影響封裝的可靠性,符合高度要求的Bump在這方面會(huì)起到積極的作用。這就要求鋼網(wǎng)印刷過程可靠地沉積穩(wěn)定的錫膏量,以產(chǎn)生堅(jiān)固的互連。錫膏從鋼網(wǎng)孔的釋放是由錫膏在鋼網(wǎng)孔側(cè)壁和晶圓焊盤之間的相互作用決定的。

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圖4 鋼網(wǎng)開孔規(guī)則

晶圓級(jí)封裝 先進(jìn)芯片封裝清洗:

合明科技研發(fā)的水基清洗劑配合合適的清洗工藝能為芯片封裝前提供潔凈的界面條件。

水基清洗的工藝和設(shè)備配置選擇對(duì)清洗精密器件尤其重要,一旦選定,就會(huì)作為一個(gè)長期的使用和運(yùn)行方式。水基清洗劑必須滿足清洗、漂洗、干燥的全工藝流程。

污染物有多種,可歸納為離子型和非離子型兩大類。離子型污染物接觸到環(huán)境中的濕氣,通電后發(fā)生電化學(xué)遷移,形成樹枝狀結(jié)構(gòu)體,造成低電阻通路,破壞了電路板功能。非離子型污染物可穿透PC B 的絕緣層,在PCB板表層下生長枝晶。除了離子型和非離子型污染物,還有粒狀污染物,例如焊料球、焊料槽內(nèi)的浮點(diǎn)、灰塵、塵埃等,這些污染物會(huì)導(dǎo)致焊點(diǎn)質(zhì)量降低、焊接時(shí)焊點(diǎn)拉尖、產(chǎn)生氣孔、短路等等多種不良現(xiàn)象。

這么多污染物,到底哪些才是最備受關(guān)注的呢?助焊劑或錫膏普遍應(yīng)用于回流焊和波峰焊工藝中,它們主要由溶劑、潤濕劑、樹脂、緩蝕劑和活化劑等多種成分,焊后必然存在熱改性生成物,這些物質(zhì)在所有污染物中的占據(jù)主導(dǎo),從產(chǎn)品失效情況來而言,焊后殘余物是影響產(chǎn)品質(zhì)量最主要的影響因素,離子型殘留物易引起電遷移使絕緣電阻下降,松香樹脂殘留物易吸附灰塵或雜質(zhì)引發(fā)接觸電阻增大,嚴(yán)重者導(dǎo)致開路失效,因此焊后必須進(jìn)行嚴(yán)格的清洗,才能保障電路板的質(zhì)量。

推薦使用合明科技水基清洗劑產(chǎn)品。


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