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倒裝芯片(flip chip)的工藝流程
倒裝芯片封裝是芯片封裝的方式之一,倒裝芯片作用在于降低成本,提高速度,提高組件可靠性。倒裝芯片封裝為芯片正面朝下向基板,無需引線鍵合,形成最短電路,降低電阻;采用金屬球連接,縮小了封裝尺寸,改善電性表現(xiàn),解決了BGA為增加引腳數(shù)而需擴大體積的困擾。
下面合明科技小編給大家介紹的是倒裝芯片(flip chip)的工藝流程及,希望能對您有所幫助!
倒裝芯片分為兩步:
第一步是做凸點(bump),凸點的類型有很多,如下圖,最常見的有純錫球,銅柱+錫球,金凸點等類型。
第二步是將芯片安放到封裝基板上.
具體工藝步驟如下:
1、Wafer Incoming and Clean(晶圓準備與清洗)在開始工藝之前,晶圓表面可能會有無有機物、顆粒、氧化層等污染物,需要進行清洗,用濕法或干法清洗的方式均可。
2、PI-1 Litho(第一層光刻:聚酰亞胺涂層光刻)聚酰亞胺(PI)一種絕緣材料,起到絕緣,支撐的作用。先涂覆在晶圓表面,再進行曝光,顯影,最后做出bump的開口位置。
3、Ti/Cu Sputtering(UBM)UBM(Under Bump Metallization),凸點下金屬層,主要是導電作用,為后面的電鍍做準備。一般是用磁控濺射的方法做出UBM,以Ti/Cu的種子層最為常見。
4、PR-1 Litho(第二層光刻:光刻膠光刻)光刻膠的光刻將決定凸點的形狀和尺寸,這一步是打開待電鍍的區(qū)域。
5、Sn-Ag Plating(錫-銀電鍍)使用電鍍工藝在開口位置沉積錫銀合金(Sn-Ag),形成凸點。此時的凸點未經(jīng)回流并不是球形的。
6、UBM Etching(UBM蝕刻)去除除凸點區(qū)域以外的 UBM 金屬層(Ti/Cu),只保留在凸點下方的金屬。
7、Reflow(回流焊)過回流焊,使錫銀合金層熔化并重新流動,形成光滑的焊球形狀。
8、芯片安放,回流焊完成后,bump形成,之后進行芯片的安放,如上圖步驟。至此,倒裝工片工藝結(jié)束。
倒裝芯片清洗劑W3100介紹
倒裝芯片清洗劑W3100是合明科技開發(fā)具有創(chuàng)新型的中性水基清洗劑,專門設計用于浸沒式的清洗工藝。適用于清洗去除半導體電子器件上的助焊劑殘留物,如引線框架、分立器件、功率模塊、倒裝芯片、攝像頭模組等。本品是PH中性的水基清洗劑,因此具有良好的材料兼容性。
倒裝芯片清洗劑W3100的產(chǎn)品特點:
1、本品可以用去離子水稀釋后使用,稀釋后為均勻單相液,應用過程簡單方便。
2、產(chǎn)品PH值呈中性,對鋁、銅、鎳、塑料、標簽等敏感材料上顯示出極好的材料兼容性。
3、不含鹵素,材料環(huán)保;氣味清淡,使用液無閃點,使用安全,不需要額外的防爆措施。
4、由于 PH 中性,減輕污水處理難度。
倒裝芯片清洗劑W3100的適用工藝:
水基清洗劑W3100適用于浸沒式的清洗工藝。
倒裝芯片清洗劑W3100產(chǎn)品應用:
水基清洗劑W3100是合明科技開發(fā)具有創(chuàng)新型的中性水基清洗劑,適用于清洗去除半導體電子器件上的助焊劑殘留物,如引線框架清洗、分立器件清洗、功率模塊清洗、倒裝芯片清洗、攝像頭模組清洗等。本產(chǎn)品PH值呈中性,對鋁、銅、鎳、塑料、標簽等敏感材料上顯示出極好的材料兼容性。
具體應用效果如下列表中所列: